专利
专利证书
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加压基板切割装置
2020. 07. 24
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可拍摄整个基板阵列的路由装置
2020. 06. 03
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托盘送料器
2020. 04. 20
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莫比乌斯专利
2018. 10. 08
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路由装置的工具头控制装置及控制方法
2018. 10. 08
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芯片研磨装置
2016. 06. 15
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单机基板检查装置
2015. 10. 26
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位移路径自动设定方法及装置
2014. 12. 15
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位移路径自动设定方法
2014. 09. 26
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基板移送装置
2014. 09. 26
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配备一体型集尘装置的路由装置
2013. 05. 31
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配备位置可变型真空垫的路由装置
2013. 05. 31
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双在线式路由装置
2009. 08. 11
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路由装置
2009. 04. 03
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基板的加工装置及加工方法
2006. 12. 04
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位自动交换装置
2006. 12. 04